蔡司SMT的一名員工正在操作光刻光學元件。
蔡司半導體製造科技​

蔡司半導體製造科技的產品​

  • 微影光學​
  • 光罩解決方案​
  • 製程控制解決方案​

讓明日科技在今日成真 ​

智慧型手機、人工智慧與量子運算有何共通點?它們皆仰賴奈米級的半導體技術。蔡司半導體製造技術事業部 (SMT) 的半導體製造產品組合涵蓋晶片開發與生產的各個階段,我們正推動全球半導體產業邁向下一波技術飛躍。為此,我們不斷突破技術可能性的極限 - 並持續引領其前進。​

瞭解我們的產品組合​

蔡司半導體製造科技​
一名員工在潔淨室中操作蔡司SMT的極紫外光技術設備。

微影光學​

透過微影光學、雷射光學、Mirrorblock以及其他光學系統,我們協助全球客戶實現奈米級解析度的晶圓曝光技術,這項技術為開發更微型化、更高效能且更強大的晶片奠定基礎。蔡司半導體光學元件和鏡片亦應用於同步加速器,藉此支援基礎物理研究。​

Employees of ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology during black light inspection in the cleanroom.

高數值孔徑極紫外光微影​

更多光線,呈現更多細節 - 為明日最先進的晶片而生。​
An employee from ZEISS SMT works on an EUV lithography in the clean room of ZEISS SMT.

極紫外光微影​

數位化的新光源 - 打造更具成本效益、節能且高效能的晶片。​
Two employees work on a DUV lithography in the clean room at ZEISS SMT.

深紫外光微影​

數位世界不可或缺的光源 - 實現高效高產能的晶片製造。​
An employee works on the synchrotron optics and cleans the product in the darkroom.

同步加速器光學元件​

突破性研究的卓越同步加速器光學元件。​
An employee works on a waferinspection module in the darkroom at the ZEISS Semiconductor Manufacturing Technology.

晶圓檢測光學系統 ​

適用於晶圓檢測的高度精密光學模組和元件。​
一名員工在蔡司SMT潔淨室中處理光罩。

光罩解決方案​

半導體生產中晶圓的零失誤曝光可節省時間與成本。透過我們的光罩解決方案,不僅能檢測、分析及修復光罩缺陷,更能精準測量並優化特定光罩特性。此技術可確保晶片製造過程中所使用的光罩皆無缺陷。​

一名員工在潔淨室中手持光罩,其同事則在電腦前工作。

光罩修復​

蔡司修復解決方案可修復光罩的圖形與外來缺陷。​
一名員工在潔淨室操作光刻機。

光罩驗證​

AIMS® 可評估光罩上的缺陷,進一步考量其對後續製程的影響。​
兩名員工在蔡司SMT的潔淨室中操作平版印刷機。

光罩量測技術​

PROVE 量測系統用於量測光罩結構的位置精度。​
一名員工在潔淨室中對光罩的精密度進行作業。

光罩調校​

蔡司的校正系統可優化光罩的特定屬性。​
兩名員工正討論電腦螢幕上所見光罩的品質。

數位解決方案​

數位解決方案可實現光罩製程的自動化與優化。​
一名員工在潔淨室中操作光掩模。

支援與服務​

貼近客戶:鄰近半導體產業客戶的當地蔡司公司,可提供最完善的支援服務。​
蔡司半導體製造技術公司的兩名員工正致力於開發新的製程控制解決方案。

製程控制解決方案​

在半導體製造中,積體電路的快速開發、原型製作與測試對於提升製程效率至關重要。我們的製程控制解決方案能實現半導體元件的樣品製備,並提供奈米級精度的結構與缺陷檢測。得益於高效能的 2D 與 3D 成像技術,晶片製造商得以在最短時間內獲取所有關鍵資訊。​

兩名蔡司員工正透過螢幕檢視製程控制解決方案。

蔡司 MultiSEM​

高效能的多電子束掃描電子顯微鏡​ 蔡司 MultiSEM 可對半導體結構進行精確的 2D 分析與故障檢測。
這台3D量測與檢測工作站的設備,矗立於蔡司半導體製造技術的潔淨室中。

3D 量測與檢測工作站​

透過 3D 量測與檢測工作站,可運用聚焦離子束斷層掃描技術,以奈米級精度對微晶片的體積進行取樣、分析與驗證。​

常見問題

  • 我們的日常生活正日益數位化、智慧化、互聯化 - 而運算能力也持續提升,這一切皆仰賴晶片的支撐。蔡司半導體的產品組合涵蓋晶片生產的多項關鍵製程,包括半導體製造光學元件 - 例如微影光學、光罩系統,以及製程控制解決方案。我們藉此協助全球晶片製造商,為日益微型化、高效能且節能的晶片奠定基礎。​
    搭載這些晶片的電子應用,可推動全球各領域持續進步。晶片內建於電子產品中,幾乎存在於每一項家用電器,例如洗碗機或咖啡機。智慧型手機、電腦或平板等裝置若無晶片便無法運作。若沒有晶片,諸如自動化、人工智慧或自動駕駛等創新技術將難以想像。​
    因此,蔡司半導體正引領科技進步,實現目前尚未可知的可能性。

    進一步瞭解蔡司半導體的資訊

  • 蔡司半導體製造科技 (SMT) 由三個策略業務單位 (SBU) 組成,它們共同構成蔡司半導體的產品組合,並為晶片製造提供關鍵技術:​

    • SMO - 半導體製造光學 ​
    • SMS – 半導體光罩解決方案 (適用於半導體製造的光罩解決方案)​
    • PCS – 製程控制解決方案 (適用於半導體結構的製程控制解決方案)​

     

  • 在蔡司半導體製造光學 (SMO),我們為半導體產業開發並製造高精度光學系統與技術。產品組合涵蓋微影光學元件(適用於 DUV、EUV 及高數值孔徑極紫外光微影)、照明系統、雷射光學元件、晶圓與光罩檢測用光學模組,以及應用於研究領域的同步加速器光學元件與 X 射線光柵。這些解決方案使晶片製造商得以曝光最精密的結構,對生產高效能晶片至關重要。

  • 在蔡司半導體光罩解決方案 (SMS) 中 ,我們為光罩生產提供高端解決方案。產品組合涵蓋光罩量測技術、校正、驗證及修復解決方案,適用於 DUV 與 EUV 光譜範圍內多種光罩類型及微影技術 - 努力實現半導體製造的最高效率,並確保每片晶圓產出最高良率的零缺陷功能性晶片。​

  • 在蔡司製程控制解決方案 (PCS) 系統中 ,我們提供適用於半導體製造的高精度製程控制系統。產品組合包含:​

    • 3D 量測與檢測工作站 - 結合聚焦離子束掃描電子顯微鏡 (FIB-SEM) 技術,實現奈米級精準取樣與 3D 分析​
    • 以及 ZEISS MultiSEM - 配備 91 道平行電子束的獨特多光束掃描電子顯微鏡,可執行超高速 2D 分析。這些解決方案提供關鍵資訊,用於分析、製程優化及故障排除,藉此實現更快速、更高效的最精密晶片結構製造。​
  • 德國​

      • 上科亨(巴登-符騰堡州):總部與中央研發中心,以及微影光學元件的生產基地(蔡司 SMO)​
        • 耶拿(圖林根州):在蔡司創立之地,我們研發光罩系統,並製造蔡司 SMS 的光罩修復、驗證及量測系統。​
          • 威茲拉爾(黑森州):微影光學元件生產基地​
            • 羅斯多夫(黑森州):蔡司 SMS 研發基地,專注於光罩修復系統​
              • 阿亨(北萊茵-威斯特法倫州):研發基地​
                • 科斯維希(薩克森州):研發與生產基地​

                  國際​

                    • 蘇黎世(瑞士):研發與生產基地​
                      • 都柏林(美國):蔡司 PCS 研發基地​
                        • 巴列夫(以色列):蔡司 SMS 研發基地,專注於光罩調校系統​

                            此外,我們在美國、中國、台灣(地區)、南韓及日本設有銷售與服務公司 (SSC):​

                              • 美國:都柏林 (SSC)、鳳凰城、博伊西、希爾斯伯勒(蔡司 SMS 服務據點)​
                              • 中國:上海 (SSC)、濟南(蔡司 SMS 服務據點)​
                              • 台灣(地區):新竹 (SSC)、台南、台中(蔡司 SMS 服務據點)​
                              • 南韓:首爾 (SSC)、東灘、平澤(蔡司 SMS 服務據點)​
                              • 日本:東京 (SSC)

                            攜手共進 ​

                            蔡司半導體製造科技的合作夥伴與供應商​
                            一名男子手握著數位世界

                            市場與合作夥伴​

                            蔡司半導體以技術解決方案服務全球半導體產業並引領數位化浪潮,這得益於我們與超過 1,200 家合作夥伴及供應商所建立的強大網絡。​

                            蔡司SMT生產車間內的機器人,正將表面貼裝技術產品填滿牆上的儲物櫃。

                            供應商網絡​

                            透過供應鏈策略,蔡司半導體製造科技 (SMT) 的供應商管理團隊協調、管控並塑造供應商的價值創造。蔡司半導體致力於符合 OEM 與終端使用者市場客戶的需求。​

                            蔡司半導體聯絡方式

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