
蔡司半導體製造科技的產品
讓明日科技在今日成真
智慧型手機、人工智慧與量子運算有何共通點?它們皆仰賴奈米級的半導體技術。蔡司半導體製造技術事業部 (SMT) 的半導體製造產品組合涵蓋晶片開發與生產的各個階段,我們正推動全球半導體產業邁向下一波技術飛躍。為此,我們不斷突破技術可能性的極限 - 並持續引領其前進。瞭解我們的產品組合
蔡司半導體製造科技常見問題
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我們的日常生活正日益數位化、智慧化、互聯化 - 而運算能力也持續提升,這一切皆仰賴晶片的支撐。蔡司半導體的產品組合涵蓋晶片生產的多項關鍵製程,包括半導體製造光學元件 - 例如微影光學、光罩系統,以及製程控制解決方案。我們藉此協助全球晶片製造商,為日益微型化、高效能且節能的晶片奠定基礎。
搭載這些晶片的電子應用,可推動全球各領域持續進步。晶片內建於電子產品中,幾乎存在於每一項家用電器,例如洗碗機或咖啡機。智慧型手機、電腦或平板等裝置若無晶片便無法運作。若沒有晶片,諸如自動化、人工智慧或自動駕駛等創新技術將難以想像。
因此,蔡司半導體正引領科技進步,實現目前尚未可知的可能性。
進一步瞭解蔡司半導體的資訊
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蔡司半導體製造科技 (SMT) 由三個策略業務單位 (SBU) 組成,它們共同構成蔡司半導體的產品組合,並為晶片製造提供關鍵技術:
- SMO - 半導體製造光學
- SMS – 半導體光罩解決方案 (適用於半導體製造的光罩解決方案)
- PCS – 製程控制解決方案 (適用於半導體結構的製程控制解決方案)
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在蔡司半導體製造光學 (SMO),我們為半導體產業開發並製造高精度光學系統與技術。產品組合涵蓋微影光學元件(適用於 DUV、EUV 及高數值孔徑極紫外光微影)、照明系統、雷射光學元件、晶圓與光罩檢測用光學模組,以及應用於研究領域的同步加速器光學元件與 X 射線光柵。這些解決方案使晶片製造商得以曝光最精密的結構,對生產高效能晶片至關重要。
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在蔡司半導體光罩解決方案 (SMS) 中 ,我們為光罩生產提供高端解決方案。產品組合涵蓋光罩量測技術、校正、驗證及修復解決方案,適用於 DUV 與 EUV 光譜範圍內多種光罩類型及微影技術 - 努力實現半導體製造的最高效率,並確保每片晶圓產出最高良率的零缺陷功能性晶片。
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在蔡司製程控制解決方案 (PCS) 系統中 ,我們提供適用於半導體製造的高精度製程控制系統。產品組合包含:
- 3D 量測與檢測工作站 - 結合聚焦離子束掃描電子顯微鏡 (FIB-SEM) 技術,實現奈米級精準取樣與 3D 分析
- 以及 ZEISS MultiSEM - 配備 91 道平行電子束的獨特多光束掃描電子顯微鏡,可執行超高速 2D 分析。這些解決方案提供關鍵資訊,用於分析、製程優化及故障排除,藉此實現更快速、更高效的最精密晶片結構製造。
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德國
- 上科亨(巴登-符騰堡州):總部與中央研發中心,以及微影光學元件的生產基地(蔡司 SMO)
- 耶拿(圖林根州):在蔡司創立之地,我們研發光罩系統,並製造蔡司 SMS 的光罩修復、驗證及量測系統。
- 威茲拉爾(黑森州):微影光學元件生產基地
- 羅斯多夫(黑森州):蔡司 SMS 研發基地,專注於光罩修復系統
- 阿亨(北萊茵-威斯特法倫州):研發基地
- 科斯維希(薩克森州):研發與生產基地
國際
- 蘇黎世(瑞士):研發與生產基地
- 都柏林(美國):蔡司 PCS 研發基地
- 巴列夫(以色列):蔡司 SMS 研發基地,專注於光罩調校系統
此外,我們在美國、中國、台灣(地區)、南韓及日本設有銷售與服務公司 (SSC):
- 美國:都柏林 (SSC)、鳳凰城、博伊西、希爾斯伯勒(蔡司 SMS 服務據點)
- 中國:上海 (SSC)、濟南(蔡司 SMS 服務據點)
- 台灣(地區):新竹 (SSC)、台南、台中(蔡司 SMS 服務據點)
- 南韓:首爾 (SSC)、東灘、平澤(蔡司 SMS 服務據點)
- 日本:東京 (SSC)
攜手共進
蔡司半導體製造科技的合作夥伴與供應商
市場與合作夥伴
蔡司半導體以技術解決方案服務全球半導體產業並引領數位化浪潮,這得益於我們與超過 1,200 家合作夥伴及供應商所建立的強大網絡。

供應商網絡
透過供應鏈策略,蔡司半導體製造科技 (SMT) 的供應商管理團隊協調、管控並塑造供應商的價值創造。蔡司半導體致力於符合 OEM 與終端使用者市場客戶的需求。