光罩解決方案支援中心 全方位且彈性的支援方案，確保維持貴公司的操作不間斷。

涵蓋每年的耗材用量。

保證及時現場支援協議。

由於蔡司工程師派駐工廠，因此無須出差，且反應迅速。

支援服務全年無休。

蔡司遠端支援解決方案。

個人績效KPI協議。

我們有些光罩系統在開發時即設計了可擴增處理容量的功能，通常設有升級路徑，以最大化其應用空間和市場使用。這類選項或升級可同時解決我們設備的技術處理能力和生產力。

對於想要更安心的客戶，蔡司可提供所有產品線的客製化備用零件套件，備齊後運送至現場。加入預測性服務計畫的客戶享有該方案的優惠價格。該計畫在歐洲、亞洲和美國的三個主要備件中心的通力合作下，運作快速、順暢。

預測性服務計畫也包括我們提供的諮詢服務，涵蓋工具和製造方面的問題。我們的專家擁有廣泛的產業知識，因此我們有能力發掘單一組織不一定看得到的解決方案。這可能包括特定的維護活動或工具的流程最佳化。

翻新很適合使用多年、歷經多項技術的現場設備。結合高技術水準與最先進的測試和支援，可確保每件工具都符合原始規格、符合所有相關的安全標準，並包含最新的授權系統軟體。