數位解決方案

可提高生產力、縮短週期時間並提升可靠性

蔡司提供多種可在FAVOR®運算引擎上運作的自動化應用程式。FAVOR®解決方案透過智慧自動化和支援技術來提升生產力和可靠性。大幅節省時間和提升可靠性是減少人工步驟和人為錯誤的結果。模組化應用為特定的生產需求提供解決方案。以下為各種系統強化軟體程式。

進階修復中心影片

MeRiT® AutoAnalysis 提升生產力和優化產能

MeRiT® AutoAnalysis MAA針對MeRiT®上的光罩修復工作流程提供全自動分析解決方案。獨立於工具軟體，無論是修復前或後皆可在進行其他活動的同時分析SEM圖像，因此可大幅節省時間。除了在單一位置上提供分析歷史資料外，此應用程式還提供與先進EUV光罩修復相容的精密分析策略。高靈敏度的瑕疵檢測可確保品質目標，並防止使用者忽略必要修復重工。
ForTune調整模組模擬工作並生成調整配方

ForTune調整模組軟體套件可生成配方以及在ForTune程序（CDC & RegC®應用程式）前進行廣泛的資料分析和模擬。此模組多元化的工作處理能力可確保高製程效率、優異的預測精準度和現場即時決策。
局部對位圖（Local Registration Map）
大規模偏差測量

局部對位圖（Local Registration Map, LRM）是一種PROVE®應用程式，可在前所未有的空間解析度下執行高密度的局部對位量測，同時大幅提升量測能力。除了先進的疊對預測等應用外，LRM功能也是最新電子束寫入機（VSB和MBMW）全新校正方案的關鍵技術之一。