蔡司半導體的微影光學

晶片在我們日常生活中扮演著重要角色－因為我們每天使用的大多數裝置都至少包含一個微處理器：電腦、智慧型手機、汽車，甚至是冰箱。蔡司半導體製造科技（SMT）的光學和微影光學產品在晶片製造上扮演決定性的角色。

晶片越來越小、越強大且越節能：這是數位化的基礎。為達到此目標，晶片的結構必須逐步精細化。只能透過使用波長更短的光線和更精密的光學系統和元件，才能使晶片更精細。蔡司半導體微影光學超過 50 年來一直面臨一項挑戰。

微影光學的發展至今仍遵循這個定律－且顯然還會持續推進。自 1960 年以來，蔡司一直致力於不斷突破技術極限。為了續寫摩爾定律，蔡司與策略合作夥伴艾司摩爾攜手合作，讓全球晶片製造商在今日打造明日科技。

使用鏡片和物鏡光學可達到的解析度可以用此公式計算出來。該公式清楚顯示，所用光線的波長越短，解析度越高。數值孔徑越大，結構越精細。深紫外光技術需要蔡司半導體的高精密曝光系統才能達到 193 奈米波長，極紫外光技術則可達到 13.5 奈米波長。