半導體製程控制解決方案部門的兩名員工在蔡司半導體無塵室內對話
製程控制解決方案(PCS)  

加速製程 下一代半導體元件製程控制

日益增加的複雜性、新材料和不斷微型化的半導體結構:量測和製程控制解決方案面臨不斷提高的要求。蔡司半導體製造科技(SMT)提供邏輯與記憶體晶片先進製程解決方案。

  • 3D量測及檢驗軟體
  • 蔡司MultiSEM
蔡司半導體MultiSEM技術的電子光束
蔡司半導體的技術

寶貴資訊 創新方法的製程控制

蔡司半導體以其廣泛的技術提供創新的製程控制解決方案,以獲取邏輯和記憶體晶片生產的相關資訊。這是我們為半導體產業提供的利器,以因應新世代的挑戰。

更快、更精準、更有彈性 專為製程控制所設計的解決方案

  • 1.5 TB

    蔡司MultiSEM每小時固定的資料傳輸率

  • 0.9奈米

    使用3D量測和檢驗工作站在15千電子伏特(keV)疊合點上的SEM解析度

蔡司半導體製程控制解決方案總覽

蔡司半導體的3D Tomo量測工作站

蔡司3D量測及檢驗工作站

蔡司3D量測及檢驗工作站是一種用於3D高通量分析的FIB-SEM組合,解析度高達0.9奈米。可讓您分析晶片的體積-以奈米等級的精準度取樣、分析和驗證。

使用MultiSEM工作的兩名員工

蔡司MultiSEM

獨特且高效的蔡司MultiSEM多光束掃描電子顯微鏡擁有91道平行電子光束,能以無可比擬的高速讓複雜的2D結構清晰可見。直覺式的蔡司ZEN成像軟體可在精密的半導體結構中進行逆向工程、製程控制與故障排除。

想像無極限-萬事皆可能 立即與我們聯絡

蔡司半導體為全球半導體製造商提供微影光學和製程控制解決方案。隨著複雜性增加、新材料和半導體結構不斷微型化,市場對量測與製程控制系統的需求也不斷提高。
如需瞭解更多資訊,請聯絡我們的專家。