製程控制解決方案

速度革命蔡司 MultiSEM－全球最快的掃描電子顯微鏡

難以想像的精密與高速

難以想像的精密

一立方公釐的人腦中有數萬個神經元和數百萬個突觸，哈佛大學研究人員運用蔡司半導體製造科技（SMT）的 MultiSEM 成功成像這些結構：透過 2.25 億張複合個別圖像，資料量達 1,400 TB（J. W. Lichtman，哈佛大學），換算後相當於約 5,000 億頁文字。難以想像的海量資訊 - 僅來自大腦的極小部分。

難以想像的高速

人類大腦的視覺化方式與晶片生產結構的呈現方式相去不遠。歸功於蔡司 MultiSEM 多光束掃描電子顯微鏡（簡稱 MultiSEM），這一切變成可能。MultiSEM 是全世界最強大的電子顯微鏡之一，擁有全球最快的資料擷取速度，可在生物學、材料科學和半導體領域取得過去難以想像的研究成果。以最快速度擷取最大量的資料，為下一個技術突破鋪路。

全球獨一無二

91

道平行同步的電子束
3,000

每小時千兆位元組資料傳輸速率
24/7

專為可靠的連續運作而設計－24 小時全年無休
>40 億

每張影像區域與掃描的像素擷取時間低於 1 秒
3.5 奈米

奈米級別掃描

用於半導體產業的先進技術

無論是大腦研究或晶片生產：蔡司 MultiSEM 提供獨特的洞察與分析能力。

在奈米範圍內運作

工業實驗室首重精密度與速度。蔡司 MultiSEM 具備創新式多光束成像技術，可在奈米範圍內以難以置信的速度和高解析度運作，因此可用於研究奈米結構尺寸的晶片。

產品亮點

蔡司 MultiSEM 706

多光束成像

蔡司 MultiSEM 的核心是多光束成像：91 道平行電子光束以無可比擬的高成像速度全自動同步可視化複雜的 2D 結構。對於一平方公分的區域，蔡司 MultiSEM 706 在像素尺寸為 3.5 奈米時，約需三小時完成掃描，這相當於每小時約 3 兆位元組的資料傳輸率。

高對比度、低雜訊且細節鉅細靡遺

由於二次電子偵測效率極高，因此可擷取到高對比度且雜訊極低的圖像。自動化成像流程實現了大規模、高奈米級解析度的精細成像，在宏觀背景下也能洞悉微小細節。

使用蔡司 MultiSEM

圖形處理器

使用蔡司 MultiSEM 擷取的多光束圖像，像素尺寸為 4 奈米，涵蓋 165 微米 x 143 微米的六邊形視野。
20 奈米的金／鈀微粒

使用蔡司 MultiSEM 擷取的多光束圖像，像素尺寸為 4 奈米，涵蓋 165 微米 x 143 微米的六邊形視野。
半導體晶圓

3.8 奈米像素尺寸的晶圓單光束圖像。
EUV 光罩

3.8 奈米像素尺寸的 EUV 光罩單光束圖像。

ZEN 成像軟體

直覺、簡單易用

此外，蔡司半導體還推出一款方便使用的直覺式軟體 ZEN（ZEISS Efficient Navigation），可用來操控 MultiSEM。高度自動化的軟體例行性程序可確保使用者介面操作簡易，包含例行性將實驗整理在結構分明的智慧型資料管理系統中。搭配強大的平行圖像擷取管道，可節省數小時的手動作業時間。

其他潛在應用領域

電腦晶片的逆向工程

在短時間內完成合格認證和測試

鑑定可信賴的供應商或偵測內建後門程式的威脅：蔡司 MultiSEM 具備奈米級解析度的大面積成像技術，能從現代微電子元件揭露的內部結構中更快速地提取數據，因此，蔡司半導體為所謂「可信賴晶片」的開發及提升網路安全作出關鍵貢獻。

蔡司 MultiSEM 的運作原理

同步平行、快速、強大

蔡司 MultiSEM 透過多束電子束的並行運作和分配給每個電子束的探測器，實現高速成像效能。所有光束同步掃描樣品表面，在此過程中產生六角形排列的局部圖像，隨後結合形成整體圖片，高成像速度和同步平行的伺服器結構可確保快速記錄資料。MultiSEM 系統的圖像擷取與顯微鏡控制完美搭配，確保任何時候都能達到最佳效能。

蔡司 MultiSEM 706

使用 91 道光束

蔡司 MultiSEM 706 採用 91 道平行光束運作，資料傳輸率每小時超過三兆位元組。每次掃描的範圍非常大，因此資料處理量極大。

想像無極限－萬事皆可能

蔡司半導體為全球半導體製造商提供微影光學和製程控制系統。隨著複雜性增加、新興材料和半導體結構不斷微型化，市場對量測與製程控制系統的需求也不斷提高。

蔡司 MultiSEM 採用 91 道同步平行的電子光束，快速完成高解析度 2D 圖像擷取，此技術可應用於最精細的半導體結構進行逆向工程、製程控制與故障排除。如需瞭解更多資訊，請與我們的專家聯絡。

聯絡蔡司半導體

速度革命蔡司 MultiSEM－全球最快的掃描電子顯微鏡

難以想像的精密與高速

難以想像的精密

難以想像的高速