製程控制解決方案

速度革命蔡司MultiSEM－全世界最快速的掃描電子顯微鏡

難以想像的精準和快速

難以想像的精準

一立方公釐的人腦中有數萬個神經元和數百萬個突觸。哈佛大學的研究人員利用蔡司半導體製造科技（SMT）的MultiSEM，成功成像這些結構：透過2.25億張複合個別圖像，資料量達1400 TB（J. W. Lichtman，哈佛大學）。轉換後約有5,000億頁文字。難以想像的資料量－僅大腦的極小部分。

難以想像的快速

人腦可視化的方式與晶片製造結構的呈現方式相去不遠。歸功於蔡司MultiSEM多光束掃描電子顯微鏡（簡稱MultiSEM），這一切變成可能。MultiSEM是全世界最強大的電子顯微鏡之一，擁有全世界最快的資料擷取速度，可在生物學、材料科學和半導體領域取得過去難以想像的研究成果。以最快速度擷取最大量的資料。下一個技術突破。

獨一無二

91

道同步平行的電子束
1500

GB，每小時資料傳輸率
24/7

專為可靠的連續操作所設計－24小時全年無休
> 10億

像素，低於1秒擷取時間（每個圖像區域和掃描）
3.5奈米

奈米範圍內的掃描

用於半導體產業的先進技術

無論是大腦研究或是晶片生產：蔡司MultiSEM皆有助於進行獨特的探索和分析。

在奈米範圍內運作

工業實驗室首重精準度和速度。蔡司MultiSEM具備創新式的多光束成像技術，可在奈米範圍內以難以置信的速度和高解析度運作。因此可用於研究奈米結構尺寸的晶片。

產品亮點

蔡司MultiSEM 506

多光束成像

蔡司MultiSEM的核心是多光束成像：91道平行電子光束以無可比擬的高成像速度全自動同步可視化複雜的2D結構。蔡司MultiSEM 506擷取面積一立方公分的圖像，須耗時約六小時，像素尺寸為3.5奈米。這相當於每小時約1.5 TB的資料傳輸率。

高對比度、低噪且細節鉅細靡遺

由於二次電子偵測效率極高，因此可擷取到高對比度且低噪的圖像。自動化成像協定使高奈米解析度的大規模詳細成像成為可能。實現在宏觀的背景下也能洞悉微小細節的目標。

使用蔡司MultiSEM

圖形處理器

使用蔡司MultiSEM 506擷取的多光束圖像，像素尺寸為4奈米，涵蓋165微米 x 143 微米的六角形視野。
20奈米的金／鈀微粒子

使用蔡司MultiSEM 506擷取的多光束圖像，像素尺寸為4奈米，涵蓋165微米 x 143 微米的六角形視野。
半導體晶圓

3.8奈米像素尺寸的晶圓單光束圖像。
EUV光罩

3.8奈米像素尺寸的EUV光罩單光束圖像。

ZEN成像軟體

直覺、簡單易用

此外，蔡司半導體還推出一款方便使用的直覺式軟體ZEN（ZEISS Efficient Navigation），可用來操控MultiSEM。高度自動化的軟體例行性程序可確保使用者介面操作簡易，包含例行性地將實驗整理在結構分明的智慧型資料管理系統中。搭配強大的平行圖像擷取管道，可節省數小時的手動作業時間。

其他潛在應用

電腦晶片的逆向工程

在短時間內完成合格認證和測試

鑑定可信的供應商或偵測內建後門程式的威脅：蔡司MultiSEM奈米級解析度的大範圍成像功能可確保從先進的微電子暴露的內部運作中更快速地擷取資料。因此，蔡司半導體有助於開發所謂的「可信賴晶片」以及提高網路安全性。

蔡司MultiSEM的運作原理

同步平行。快速。強大。

蔡司MultiSEM透過同步平行使用多個電子束和分配給每個電子束的探測器完成高速成像。所有光束同步掃描樣品表面。在此過程中產生的六角形排列的局部圖像，隨後再結合起來形成整體圖像範圍。高成像速度和同步平行的伺服器結構可確保快速記錄資料。MultiSEM系統的圖像擷取與顯微鏡控制完美搭配，確保任何時候都能達到最佳效能。

蔡司MultiSEM 506

使用91道光束

蔡司MultiSEM 506可運作91道平行光束，資料傳輸率每小時超過1TB。每次掃描的範圍非常大，因此資料處理量極大。

想像無極限－萬事皆可能

蔡司半導體為全球半導體製造商提供微影光學和製程控制系統。隨著複雜性增加、新材料和半導體結構不斷地微型化，市場對量測與製程控制系統的需求也不斷提高。

蔡司MultiSEM利用91道同步平行的電子光束，快速完成高解析2D圖像擷取。這可在精密的半導體結構中進行逆向工程、製程控制與故障排除。如需瞭解更多資訊，請聯絡我們的專家。

聯絡蔡司半導體

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