一名蔡司半導體員工正在研究EUV系統
半導體製造光學(SMO)

半導體製造光學

打造未來之光的光學系統

沒有光學產品,便沒有微影技術,而半導體不能沒有微影技術。沒有半導體,便沒有晶片,而沒有晶片,便沒有電腦-更沒有高科技產品。作為原始設備製造商(OEM)供應商,蔡司半導體製造科技(SMT)透過光學產品及其他光學模組,為全球半導體產業提供關鍵支持。​

  • 打造半導體製造的光學精密度
  • 為客戶提供技術優勢
  • 打造未來科技

數據、資料、事實

  • 384,400 公里

    這是地球到月球的距離。在這個距離範圍內,透過蔡司半導體的物鏡輔助,偏轉的雷射光束可精準擊中一顆高爾夫球。

  • 2020

    榮獲德國未來獎,表彰極具創新性的極紫外光技術

  • >50

    逾半世紀的微影光學研發經驗

  • 1.35

    最暢銷的 Starlith® 1900i 沉浸式鏡片數值孔徑

  • >2,000

    自 1995 年起開發極紫外光技術以來,蔡司半導體創造全新高科技工作機會的數量

光學模組

半導體製造科技的光學元件與模組
員工正在研究蔡司半導體光學系統

雷射元件與模組

深紫外光微影雷射可在 193 和 248 奈米的高光強度和極短波長下運作。蔡司半導體的產品組合包括氟化鈣元件、準分子雷射測量模組(量測模組)和降低頻寬模組。

員工正在研究蔡司半導體光學系統

晶圓檢測用的光學元件與組件

隨著晶片日益微型化、更加小巧也愈見複雜,對品質與缺陷管控的需求亦與日俱增。蔡司製造專用於自動光學晶圓檢測與製程監控的特殊顯微鏡光學產品(德國未銷售)。

一名男子坐在廚房餐桌上閱讀平板上的蔡司半導體刊物

刊物與講座

洞悉我們的研究成果

我們會定期發表有關半導體製造科技研發的技術性文章和講座。

想像無極限-萬事皆可能

蔡司半導體製造科技以高效能光學協助全球半導體產業。因此,我們用高效能、高精密量測和製造技術提供最高品質的光學元件。蔡司半導體不斷致力於突破物理可能性的極限:為客戶提供技術優勢,打造未來科技。
歡迎隨時與我們的專家聯絡。