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蔡司半導體製造科技
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一名蔡司半導體員工正在研究EUV系統
半導體製造光學（SMO）

半導體製造光學

打造未來之光的光學系統

光學是微影技術的重要元件。半導體不能沒有微影技術。沒有半導體就沒有晶片，沒有晶片就沒有電腦－沒有高階產品。身為OEM代工廠，蔡司半導體製造科技（SMT）能以光學鏡片和光學模組產品為全球半導體產業提供服務。

  • 打造半導體製造的光學精密度
  • 為客戶提供技術優勢
  • 打造未來科技

蔡司半導體生產光學的技術和解決方案

  • 微影光學 打造半導體製造的光學精密度

    洞悉蔡司半導體的雷射光學

    拜蔡司微影光學元件所賜（德國未銷售），全球晶片製造商可以奈米級精準度曝光晶圓－為生產功能強大的晶片奠定基礎。蔡司照明系統的品質和外觀以及投影光學的解析能力也決定了晶片可微型化的程度。

    技術

    • 深紫外光（DUV light）
    • 極紫外光（EUV light）
    • High-NA EUV技術
    • 物鏡區塊
    激發靈感的科技

  • 光學模組

    光學元件和模組
    蔡司半導體的員工正在研究光學系統

    微影雷射的高品質光學元件和模組（德國未銷售）和晶圓檢測用特殊顯微鏡鏡片：這是身為OEM代工廠的蔡司半導體鞏固長期合作夥伴的最大利器。

    技術

    • 雷射光學元件和模組
    • 晶圓檢測的光學和模組
    光學模組

  • 同步加速器光學元件

    研究用的優良光學
    一名蔡司半導體員工正在清潔同步加速器光學元件

    30多年來，蔡司半導體製造科技一直為全球研究機構提供精確的同步加速器光學和X光光柵產品。用於結構分析和單色器。

    技術

    • 同步加速器光學元件
    • X光光柵
    同步加速器光學元件

數據、資料、事實

  • 384,400公里

    這是地球與月球的距離。在這個距離範圍內，偏轉的雷射光束在蔡司半導體的物鏡輔助下可精準地擊中一顆高爾夫球。

  • 2020

    榮獲德國極高創新EUV技術未來獎

  • >50

    逾半世紀的微影光學研發經驗

  • 1.35

    最暢銷的Starlith® 1900i沉浸式鏡片數值孔徑

  • >2,000

    自1995年起開發EUV以來，蔡司半導體創造全新高階工作機會的數量

光學模組

半導體製造科技的光學元件和模組
員工正在研究蔡司半導體光學系統

雷射光學元件和模組

DUV微影雷射可在193和248奈米的高光強度和極短波長下運作。蔡司半導體的產品組合包括氟化鈣元件、準分子雷射量測模組和降低頻寬模組。

員工正在研究蔡司半導體光學系統

晶圓檢測的光學和組件

晶圓日益微型化、更形緊湊，因此也越見複雜，品質和瑕疵管控的要求也日益增加。    蔡司生產自動光學晶圓檢測和製程監控的特殊顯微鏡光學產品（德國未銷售）。

一名男子坐在廚房餐桌上閱讀平板上的蔡司半導體刊物

刊物與講座

洞悉我們的研究成果

我們會定期發表有關半導體生產技術研究和開發的技術性文章和講座。

想像無極限－萬事皆可能

蔡司半導體製造科技以高性能光學協助全球半導體產業。因此，我們用高性能、高精密量測和製造技術提供最高品質的光學元件。蔡司半導體不斷致力於突破物理可能性的極限：為客戶提供技術優勢。打造未來科技。
請隨時與我們的專家聯絡。

 

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