蔡司XENOS

用於實現至高精度的高端測量機

無論是在科研機構的測量實驗室、航空航太業或是光學工業，所有需要高精度的地方便是蔡司XENOS發揮所長之處。這款高端設備的精度達到了技術可行的新高度，測量範圍接近一立方米。

無與倫比的精確度，精度為0.2 + L/1000 µm
具有熱穩定性和剛性的創新材料
先進的機械設計可實現穩定的測量精度

特點

虛擬中央驅動裝置

蔡司XENOS在Y方向上有兩個線性驅動裝置，透過蔡司開發的新技術：中央驅動裝置實現同步。該裝置可確保根據X軸的位置最佳化驅動力分配。

這得益於新一代的控制器和演算法。這是在整個測量範圍內實現高精度和路徑一致性的關鍵因素。
所有軸上的線性驅動裝置

蔡司XENOS的所有軸均使用線性驅動裝置。優勢：高速、極快的加速度、高定位精度和無剪切力驅動。結合高解析度尺規，蔡司XENOS上使用的線性驅動裝置可提供高路徑附著力和低於100奈米的高定位精度。

例如，測針撓度更恒定，因此精度更高。在測量曲面時，另一個優點也十分明顯：測針越可靠、越準確地沿著指定路徑移動，便越能準確地確定誤差。
碳化矽陶瓷

蔡司XENOS在決定精度的機器部件中使用了創新的碳化矽陶瓷。目前，這種材料還極少被用於類似的部件尺寸或精度。

相較標準的氧化鋁陶瓷，碳化矽陶瓷的熱膨脹率低約50%，剛度高30%，重量輕20%。其硬度是鋼材的兩倍。

創新的機械設計

蔡司XENOS以久經考驗的蔡司CenterMax為基礎，採用了全新的機械設計，令人印象深刻。不同於標準的橋式設計，Y導軌位於側壁頂部，將所有移動軸與夾緊區域隔開。由於只有橫樑在Y軸方向移動，因此移動品質較小，始終保持恒定，這是與移動工作臺相比的真正優勢。重量的減輕和品質的不斷移動使驅動裝置在加速和高速方面實現了出色協調。

此外，新型空氣軸承的連接剛度更高，增強了穩定性，從而提高了精度。